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    一對一定制解決方案

    集成電路行業廢氣處理方案

    當今是以集成電路技術為核心的數字信息時代,在集成電路制造的過程中會產生大量的有機污染物、無機污染物等有毒有害氣體,那么集成電路廢氣應該怎么處理,或者說有無集成電路廢氣解決方案?北京格林斯達環保公司為您介紹如下:

    集成電路行業廢氣介紹

    主要來源:在集成電路制程工藝中,會經常使用硫酸、鹽酸、顯影劑、光刻膠、清潔劑、蝕刻液,而產生大量的酸堿和有機廢氣。

    主要成分:有以下幾種:

    1. 有機廢氣:非甲烷總烴、氮氧化物、二氧化硫等;
    2. 酸性廢氣:硫酸霧、氯化物、氯氣;
    3. 堿性廢氣:氨氣、氟化物等;
    4. 一般排氣:無害氣體。

    主要危害

    1. 集成電路制程工藝經常使用化學藥劑,如硫酸、鹽酸、氟氯化碳、四氯化碳、三氯乙烷及其他有機鹵化物,易造成對大氣環境的污染;
    2. 在整機裝配過程中產生的機械噪聲和少量粉塵也會造成環境污染,這些污染氣體會造成人群慢性或急性中毒。

     

    集成電路廢氣處理方案介紹

    常用的工業廢氣處理工藝有:酸堿中和法、活性炭吸附法、催化燃燒法、直接燃燒法、等離子法、吸收法、冷凝法等。

    集成電路制造行業因廢氣性質、成分不同,其廢氣處理處理方案也有所差異,結合工業廢氣處理工藝,集成電路行業廢氣處理方案主要有以下幾種:

    1、集成電路酸性廢氣處理(SEX)方法介紹

    集成電路行業酸性廢氣處理方法,主要采用酸堿中和法,通過廢氣洗滌塔氣液交叉接觸,堿液噴淋洗滌即可凈化酸性廢氣。

    2、集成電路堿性廢氣處理(AEX)方法介紹

    集成電路行業堿性廢氣處理方法,主要采用酸堿中和法,通過廢氣洗滌塔氣液交叉接觸,酸液噴淋洗滌即可廢氣凈化堿性廢氣。

    集成電路酸堿廢氣處理系統

    3、集成電路有機廢氣處理(VEX)方法介紹

    集成電路行業有機廢氣處理方法,通常先用沸石轉輪對VOCs進行吸附濃縮之后,再用直接燃燒法爐燃燒銷毀,廢氣凈化率達到96%以上。

    直接燃燒也稱為直接火焰燃燒,它是把廢氣中可燃的有害組分當做燃料直接燒掉,因此這種廢氣處理方法適用于集成電路行業有機廢氣凈化可燃有害組分濃度較高的廢氣,或者是用于凈化有害組分燃燒時熱值較高的廢氣。

    集成電路有機廢氣處理系統

    4、集成電路一般排氣(GEX)方法介紹

    一般排氣無需處理,直接排放即可。

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