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    Local Scrubber尾氣處理設備

    • 去除效率: CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
    • 設備材質: 內腔PTEE、水箱CPVC
    • 設備尺寸: 800*800*1850
    • 設備能耗: 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
    • 設備水量: <4slm
    咨詢熱線:400-9655-098

    等離子水洗Local Scrubber設備:去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。

    原理

    通過直流電源,使工作氣體(氮氣)進入等離子體反應器,在正負極強電流的作用下,被電離成等離子體,瞬間產生巨大的火焰,產生的高溫火焰將廢氣分解。

    優勢

    1. 去除效率高,不需要燃料和熱源,耗能低;
    2. 處理高沸點廢氣,應用范圍廣;
    3. 高溫、反應速度快,
    4. 設備占地面積小、便于安裝;

    本裝置的直流電弧等離子體為非轉移型,兩電極區域不參與反應,只產生等離子體,產生的火焰溫度可達3000度以上。

    等離子反應器的MTBF大于1年,反應室內腔的材質耐熱和耐腐,具有四個進氣口,裝置具備冷卻區、噴淋區及兩級填料除霧區,對PFC溫室氣體的去除效率>90%。

    尾氣處理設備尾氣處理設備

    性能參數

    去除效率 CF4>90%@150slm、NF3>95%@300slm
    MTBF >6months;
    MTTR <1.5hr
    材質 內腔PTEE、水箱CPVC
    等離子弧使用壽命 >1year
    尺寸(mm) 800*800*1850
    進氣口 NW50*4
    耗能 12kw for CF4>90%;9kw for NF3>95%
    水量 <4slm

     

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